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실리콘의 이중증착에 의한 산화막 신뢰성 향상
실리콘의 이중증착에 의한 산화막 신뢰성 향상
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■700 ▼a양권승
■773 ▼t요업학회지▼gvol.31,no.1(140)▼d1994, 01
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