자료유형  

 보고서

ISSN  

17383803

서명/저자  

반도체 및 FPD 분야에 사용되는 SIH4 가스의 공정 안전 고찰 / 김중조

발행사항  

서울 : 한국안전학회, 2007.

형태사항  

pp. 32-36

키워드  

반도체 FPD 분야 사용 SIH4 가스 공정 안전

기타저자  

김중조

기본자료저록  

한국안전학회지 : 2007년 8월 (제22권 제4호) 2007, 08

URL  

http://www.kosos.or.kr

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Control Number  

shingu:248680