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기판 종류에 따른 Ta₂O5 박막의 유전 특성
기판 종류에 따른 Ta₂O5 박막의 유전 특성
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MARC
008070228s2007 ULKa a KOR■245 ▼a기판 종류에 따른 Ta₂O5 박막의 유전 특성▼d이석진
■260 ▼a안산시▼b안산1대학▼c2007.
■300 ▼app. 249-258
■653 ▼a기판▼a종류▼aTA₂O5▼a박막▼a유전
■700 ▼a이석진
■773 ▼t논문집 - 안산1대학▼g2006년 3월 (제24집)▼d2007, 12
■URL ▼ahttp://lib.ansan.ac.kr
■SIS ▼aS030374▼b225937▼h3▼s2▼fD


