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 보고서

서명/저자  

부식방지제와 Complexing Agent 첨가에 따른 구리 CMP 특성 / 김태형

발행사항  

여주군 : 여주대학, 2005.

형태사항  

pp. 1-4

키워드  

부식방지제 COMPLEXING AGENT 첨가 구리 CMP

기타저자  

김태형

기본자료저록  

논문집 - 여주대학(驪州大學) : 2005년 1월 (제13집2호) 2005, 12

URL  

http://library.yeojoo.ac.kr

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Control Number  

shingu:235279