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부식방지제와 Complexing Agent 첨가에 따른 구리 CMP 특성
부식방지제와 Complexing Agent 첨가에 따른 구리 CMP 특성 / 김태형
부식방지제와 Complexing Agent 첨가에 따른 구리 CMP 특성

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자료유형  
 보고서
서명/저자  
부식방지제와 Complexing Agent 첨가에 따른 구리 CMP 특성 / 김태형
발행사항  
여주군 : 여주대학, 2005.
형태사항  
pp. 1-4
키워드  
부식방지제 COMPLEXING AGENT 첨가 구리 CMP
기타저자  
김태형
기본자료저록  
논문집 - 여주대학(驪州大學) : 2005년 1월 (제13집2호) 2005, 12
URL  
http://library.yeojoo.ac.kr
모체레코드  
모체정보확인
Control Number  
shingu:235279

MARC

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