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ECR CVD로 증착한 비정질 실리콘 박막의 H2/SiH4 와 기판온도 변화에 따른 광학적 전기적 특성
ECR CVD로 증착한 비정질 실리콘 박막의 H2/SiH4 와 기판온도 변화에 따른 광학적 전기적 특성 ...
ECR CVD로 증착한 비정질 실리콘 박막의 H2/SiH4 와 기판온도 변화에 따른 광학적 전기적 특성

Detailed Information

자료유형  
 보고서
서명/저자  
ECR CVD로 증착한 비정질 실리콘 박막의 H2/SiH4 와 기판온도 변화에 따른 광학적 전기적 특성 / 강문상
발행사항  
서울 : 인덕대학, 1997.
형태사항  
pp. 315-323
키워드  
ECR CVD 비정질 실리콘 박막 기판온도 광학적 전기적
기타저자  
강문상
기본자료저록  
논문집 - 인덕대학 : 1997년 1월 (제18집) 1997, 05
URL  
http://library.induk.ac.kr/web/
모체레코드  
모체정보확인
Control Number  
shingu:230485

MARC

 008050929s1997        ULKa    a                          KOR
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