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ECRPCVD 방법으로 증착시킨 비정질 실리콘 박막의 수소회석에 따른 특성에 관한 연구
ECRPCVD 방법으로 증착시킨 비정질 실리콘 박막의 수소회석에 따른 특성에 관한 연구
Detailed Information
- Material Type
- 보고서
- Title/Author
- ECRPCVD 방법으로 증착시킨 비정질 실리콘 박막의 수소회석에 따른 특성에 관한 연구 / 강문상
- Publish Info
- 서울 : 인덕대학, 1996.
- Material Info
- pp. 587-594
- Added Entry-Personal Name
- 강문상
- Host Item Entry
- 논문집 - 인덕대학 : 1996년 1월 (제17집) 1996, 07
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- shingu:230458
MARC
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■URL ▼ahttp://library.induk.ac.kr/web/
■SIS ▼aS026478▼b210155▼h3▼s2▼fD
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