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ECRPCVD 방법으로 증착시킨 비정질 실리콘 박막의 수소회석에 따른 특성에 관한 연구
ECRPCVD 방법으로 증착시킨 비정질 실리콘 박막의 수소회석에 따른 특성에 관한 연구 / 강문상
ECRPCVD 방법으로 증착시킨 비정질 실리콘 박막의 수소회석에 따른 특성에 관한 연구

Detailed Information

자료유형  
 보고서
서명/저자  
ECRPCVD 방법으로 증착시킨 비정질 실리콘 박막의 수소회석에 따른 특성에 관한 연구 / 강문상
발행사항  
서울 : 인덕대학, 1996.
형태사항  
pp. 587-594
키워드  
ECRPCVD 증착시킨 비정질 실리콘 박막 수소회석
기타저자  
강문상
기본자료저록  
논문집 - 인덕대학 : 1996년 1월 (제17집) 1996, 07
URL  
http://library.induk.ac.kr/web/
모체레코드  
모체정보확인
Control Number  
shingu:230458

MARC

 008050929s1996        ULKa    a                          KOR
■245    ▼aECRPCVD  방법으로  증착시킨  비정질  실리콘  박막의  수소회석에  따른  특성에  관한  연구▼d강문상
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■URL    ▼ahttp://library.induk.ac.kr/web/
■SIS    ▼aS026478▼b210155▼h3▼s2▼fD

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