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RF 마그네트론 스퍼터링으로 성장한 Ge-rich 실리콘 산화박막(GRSO)의 광학적 특성
RF 마그네트론 스퍼터링으로 성장한 Ge-rich 실리콘 산화박막(GRSO)의 광학적 특성
상세정보
MARC
008050608s2001 ULKa a KOR■245 ▼aRF 마그네트론 스퍼터링으로 성장한 Ge-rich 실리콘 산화박막(GRSO)의 광학적 특성▼d홍종성
■260 ▼a강원도▼b삼척대학교▼c2001.
■300 ▼app. 53-61
■653 ▼a마그네트론▼a스퍼터링▼aRICH▼a실리콘▼a산화박막▼a광학적
■700 ▼a홍종성
■773 ▼t논문집 - 삼척대학교▼g2001년 1월 (제34집Ⅲ)▼d2001, 02
■URL ▼ahttp://www.samcheok.ac.kr/
■SIS ▼aS021811▼b197813▼h3▼s2▼fD


