본문

서브메뉴

검색

상세정보

  1. Home
  2. 상세정보
SF6 플라즈마에 의한 에칭 프로세스의 적용
SF6 플라즈마에 의한 에칭 프로세스의 적용 / 하장호
SF6 플라즈마에 의한 에칭 프로세스의 적용

상세정보

자료유형  
 보고서
서명/저자  
SF6 플라즈마에 의한 에칭 프로세스의 적용 / 하장호
발행사항  
강원도 : 삼척대학교, 2001.
형태사항  
pp. 265-272
키워드  
플라즈마 에칭 프로세스
기타저자  
하장호
기본자료저록  
논문집 - 삼척대학교 : 2001년 1월 (제34집Ⅰ) 2001, 02
URL  
http://www.samcheok.ac.kr/
모체레코드  
모체정보확인
Control Number  
shingu:227870

MARC

 008050608s2001        ULKa    a                          KOR
■245    ▼aSF6  플라즈마에  의한  에칭  프로세스의  적용▼d하장호
■260    ▼a강원도▼b삼척대학교▼c2001.
■300    ▼app.  265-272
■653    ▼a플라즈마▼a에칭▼a프로세스
■700    ▼a하장호
■773    ▼t논문집  -  삼척대학교▼g2001년  1월  (제34집Ⅰ)▼d2001,  02
■URL    ▼ahttp://www.samcheok.ac.kr/
■SIS    ▼aS021809▼b197813▼h3▼s2▼fD

미리보기

내보내기

chatGPT토론

Ai 추천 관련 도서


    신착도서 더보기
    관련도서 더보기
    최근 3년간 통계입니다.

    소장정보

    • 예약
    • 서가에 없는 책 신고
    • 대출신청
    • 나의폴더
    • 우선정리요청
    소장자료
    등록번호 청구기호 소장처 대출가능여부 대출정보

    * 대출중인 자료에 한하여 예약이 가능합니다. 예약을 원하시면 예약버튼을 클릭하십시오.

    해당 도서를 다른 이용자가 함께 대출한 도서

    관련도서

    관련 인기도서

    도서위치