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RF 스퍼터링법에 의한 SCT 박막의 전기적 특성
RF 스퍼터링법에 의한 SCT 박막의 전기적 특성 / 김원종
RF 스퍼터링법에 의한 SCT 박막의 전기적 특성

Detailed Information

자료유형  
 보고서
서명/저자  
RF 스퍼터링법에 의한 SCT 박막의 전기적 특성 / 김원종
발행사항  
강원도 : 삼척대학교, 2001.
형태사항  
pp. 47-57
키워드  
RF 스퍼터링법 SCT 박막 전기적
기타저자  
김원종
기본자료저록  
논문집 - 삼척대학교 : 2001년 1월 (제34집Ⅰ) 2001, 02
URL  
http://www.samcheok.ac.kr/
모체레코드  
모체정보확인
Control Number  
shingu:227855

MARC

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■245    ▼aRF  스퍼터링법에  의한  SCT  박막의  전기적  특성▼d김원종
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