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Si 기판위에 증착된 a-SiNx:H 박막의 적외선흡수분석
Si 기판위에 증착된 a-SiNx:H 박막의 적외선흡수분석 / 박욱동
Si 기판위에 증착된 a-SiNx:H 박막의 적외선흡수분석

Detailed Information

자료유형  
 보고서
서명/저자  
Si 기판위에 증착된 a-SiNx:H 박막의 적외선흡수분석 / 박욱동
발행사항  
영주시 : 동양대학교, 1996.
형태사항  
pp. 95-107
키워드  
기판위 증착된 SINXH 박막 적외선흡수분석
기타저자  
박욱동
기본자료저록  
동양대학교논문집 - 동양대학교 : 1996년 3월 (제2집) 1996, 12
URL  
http://dyucl.dyu.ac.kr/
모체레코드  
모체정보확인
Control Number  
shingu:218541

MARC

 008041022s1996        ULKa    a                          KOR
■245    ▼aSi  기판위에  증착된  a-SiNx:H  박막의  적외선흡수분석▼d박욱동
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