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RF 마그네트론 스퍼터링 방법으로 형성한 실리콘 산화막의 발광특성 연구
RF 마그네트론 스퍼터링 방법으로 형성한 실리콘 산화막의 발광특성 연구
상세정보
- 자료유형
- 보고서
- 서명/저자
- RF 마그네트론 스퍼터링 방법으로 형성한 실리콘 산화막의 발광특성 연구 / 홍종성
- 발행사항
- 강원도 : 삼척산업대학교 산업과학기술연구소, 1999.
- 형태사항
- pp. 35-40
- 기타저자
- 홍종성
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- shingu:215967
MARC
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■653 ▼aRF▼a스퍼터링▼a마그네트론▼a실리콘▼a산화막▼a발광특성
■700 ▼a홍종성
■773 ▼t산업과학기술여구논문집 - 삼천산업대학교 산업과학기술연구소▼g1999년 2월 (제4집)▼d1999, 02
■SIS ▼aS023471▼b215942▼h3▼s2▼fD
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