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청색광소자 반도체용 사파이어기판 연마공정 개발 및 기판가공 특성
청색광소자 반도체용 사파이어기판 연마공정 개발 및 기판가공 특성
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MARC
008040818s2000 ULKa a KOR■022 ▼a15983390
■245 ▼a청색광소자 반도체용 사파이어기판 연마공정 개발 및 기판가공 특성▼d김근주
■260 ▼a울산광역시▼b울산과학대학▼c2000.
■300 ▼app. 105-126
■653 ▼a청색광소자▼a반도체용▼a사파이어기판▼a연마공정▼a기판가공
■700 ▼a김근주
■773 ▼t연구논문집 - 울산과학대학▼g2000년 9월 (제27권 제1호)▼d2000, 09
■URL ▼ahttp://lib.uc.ac.kr/SlimaDL/
■SIS ▼aS023390▼b213853▼h3▼s2▼fD


