자료유형  

 보고서

ISSN  

12253634

서명/저자  

Thermal MOCVD와 DC pulsed PA-MOCVD에 의해 증착된 TiN 박막 연구 / 박용균

발행사항  

울산광역시 : 울산대학교, 2001.

형태사항  

pp. 293-302

키워드  

THERMAL MOCVD DC PULSED MOCVD 증착된 박막

기타저자  

박용균

기본자료저록  

공학연구논문집 - 울산대학교 : 2001년 4월 (제32권1호) 2001, 04

URL  

http://library.ulsan.ac.kr/

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Control Number  

shingu:215377