자료유형  

 보고서

ISSN  

15983390

서명/저자  

연마에 따른 사파이어 웨이퍼 표면의 결정성 손상에 대한 X-선 회절특성 / 김근주

발행사항  

울산광역시 : 울산과학대학, 2001.

형태사항  

pp. 51-60

키워드  

연마 사파이어 웨이퍼 표면 결정 손상 대한 X선 회절 특성

기타저자  

김근주

기본자료저록  

연구논문집 - 울산과학대학 : 2001년 9월 (제28권 제1호) 2001, 08

URL  

http://lib.uc.ac.kr/SlimaDL/

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Control Number  

shingu:214456