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ECWR plasma로 제작한 ta-C:H 박막의 광학적 특성분석
ECWR plasma로 제작한 ta-C:H 박막의 광학적 특성분석
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MARC
008040617s2004 ULKa a KOR■245 ▼aECWR plasma로 제작한 ta-C:H 박막의 광학적 특성분석▼d강명기▼e이승원
■260 ▼a수원시▼b동남보건대학▼c2004.
■300 ▼app. 153-158
■653 ▼aECWR▼aPLASMA▼a박막▼a광학적▼a특성분석
■700 ▼a강명기
■700 ▼a이승원
■773 ▼t論文集 - 東南保建大學▼g2003년 1월 (제21집 2호)▼d2004, 05
■URL ▼ahttp://www.dongnam.ac.kr
■SIS ▼aS022884▼b191274▼h3▼s2▼fD


