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ECWR plasma로 제작한 ta-C:H 박막의 광학적 특성분석
ECWR plasma로 제작한 ta-C:H 박막의 광학적 특성분석 / 강명기 ; 이승원
ECWR plasma로 제작한 ta-C:H 박막의 광학적 특성분석

Detailed Information

자료유형  
 보고서
서명/저자  
ECWR plasma로 제작한 ta-C:H 박막의 광학적 특성분석 / 강명기 ; 이승원
발행사항  
수원시 : 동남보건대학, 2004.
형태사항  
pp. 153-158
키워드  
ECWR PLASMA 박막 광학적 특성분석
기타저자  
강명기
기타저자  
이승원
기본자료저록  
論文集 - 東南保建大學 : 2003년 1월 (제21집 2호) 2004, 05
URL  
http://www.dongnam.ac.kr
모체레코드  
모체정보확인
Control Number  
shingu:212173

MARC

 008040617s2004        ULKa    a                          KOR
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