자료유형  

 보고서

서명/저자  

Sputtering을 이용한 TiN 박막의 성장 / 김상현 ; 이승원

발행사항  

수원시 : 동남보건대학, 2004.

형태사항  

pp. 149-152

키워드  

SPUTTERING 박막 성장

기타저자  

김상현

기타저자  

이승원

기본자료저록  

論文集 - 東南保建大學 : 2003년 1월 (제21집 2호) 2004, 05

URL  

http://www.dongnam.ac.kr

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Control Number  

shingu:212172