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반응성 마그네트론 스퍼터에 의해 합성된 carbon nitride 박막의 특성에 기판온도가 미치는 영향
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반응성 마그네트론 스퍼터에 의해 합성된 carbon nitride 박막의 특성에 기판온도가 미치는 영향

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자료유형  
 보고서
서명/저자  
반응성 마그네트론 스퍼터에 의해 합성된 carbon nitride 박막의 특성에 기판온도가 미치는 영향 / 박구범
발행사항  
경기도 : 유한대학 상업과학기술연구소, 2004.
형태사항  
pp. 39-47
키워드  
반응성 마그네트론 스퍼터 합성된 CARBON NITRIDE 박막 기판온도
기타저자  
박구범
기본자료저록  
논문집 - 산업과학기술연구소 유한대학부설 : 2004년 4월 (제9권) 2004, 05
URL  
http://lib.yuhan.ac.kr/
모체레코드  
모체정보확인
Control Number  
shingu:209815

MARC

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