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반응성 마그네트론 스퍼터에 의해 합성된 carbon nitride 박막의 특성에 기판온도가 미치는 영향
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반응성 마그네트론 스퍼터에 의해 합성된 carbon nitride 박막의 특성에 기판온도가 미치는 영향

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자료유형  
 보고서
서명/저자  
반응성 마그네트론 스퍼터에 의해 합성된 carbon nitride 박막의 특성에 기판온도가 미치는 영향 / 박구범
발행사항  
경기도 : 유한대학 상업과학기술연구소, 2004.
형태사항  
pp. 39-47
키워드  
반응성 마그네트론 스퍼터 합성된 CARBON NITRIDE 박막 기판온도
기타저자  
박구범
기본자료저록  
논문집 - 산업과학기술연구소 유한대학부설 : 2004년 4월 (제9권) 2004, 05
URL  
http://lib.yuhan.ac.kr/
모체레코드  
모체정보확인
Control Number  
shingu:209815

MARC

 008040507s2004        GGKa    a                          KOR
■245    ▼a반응성  마그네트론  스퍼터에  의해  합성된  carbon  nitride  박막의  특성에  기판온도가  미치는  영향▼d박구범
■260    ▼a경기도▼b유한대학  상업과학기술연구소▼c2004.
■300    ▼app.  39-47
■653    ▼a반응성▼a마그네트론▼a스퍼터▼a합성된▼aCARBON▼aNITRIDE▼a박막▼a기판온도
■700    ▼a박구범
■773    ▼t논문집  -  산업과학기술연구소  유한대학부설▼g2004년  4월  (제9권)▼d2004,  05
■URL    ▼ahttp://lib.yuhan.ac.kr/
■SIS    ▼aS022571▼b209810▼h3▼s2▼fD

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