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반응성 마그네트론 스퍼터에 의해 합성된 carbon nitride 박막의 특성에 기판온도가 미치는 영향
반응성 마그네트론 스퍼터에 의해 합성된 carbon nitride 박막의 특성에 기판온도가 미치는 영향
Detailed Information
- 자료유형
- 보고서
- 서명/저자
- 반응성 마그네트론 스퍼터에 의해 합성된 carbon nitride 박막의 특성에 기판온도가 미치는 영향 / 박구범
- 발행사항
- 경기도 : 유한대학 상업과학기술연구소, 2004.
- 형태사항
- pp. 39-47
- 기타저자
- 박구범
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- shingu:209815
MARC
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■300 ▼app. 39-47
■653 ▼a반응성▼a마그네트론▼a스퍼터▼a합성된▼aCARBON▼aNITRIDE▼a박막▼a기판온도
■700 ▼a박구범
■773 ▼t논문집 - 산업과학기술연구소 유한대학부설▼g2004년 4월 (제9권)▼d2004, 05
■URL ▼ahttp://lib.yuhan.ac.kr/
■SIS ▼aS022571▼b209810▼h3▼s2▼fD
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