자료유형  

 보고서

ISSN  

12297801

서명/저자  

RF 마그네트론 스퍼터링에 의한 NiO 박막 증착시 산소 유량비가 박막의 결정 배향성에 미치는 영향 / 류현욱 ; 최광표

발행사항  

서울 : 한국세라믹학회, 2004.

형태사항  

pp. 106-110

키워드  

마그네트론 스퍼터링 NIO 박막 증착시 산소 유량비 배향성

기타저자  

류현욱

기타저자  

최광표

기본자료저록  

한국세라믹학회지 : 2004년 2월 (제41권 2호) 2004, 02

URL  

http://www.kcers.or.kr

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Control Number  

shingu:206492