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H2-CH4계와 H2-CH4-O2계로부터 RF PACVD에 의한 다이아몬드 박막의 합성
H2-CH4계와 H2-CH4-O2계로부터 RF PACVD에 의한 다이아몬드 박막의 합성 / 임헌찬
H2-CH4계와 H2-CH4-O2계로부터 RF PACVD에 의한 다이아몬드 박막의 합성

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자료유형  
 보고서
서명/저자  
H2-CH4계와 H2-CH4-O2계로부터 RF PACVD에 의한 다이아몬드 박막의 합성 / 임헌찬
발행사항  
대구광역시 : 대구공업대학, 1999.
형태사항  
pp. 233-246
키워드  
H2CH4계와 H2CH4O2계로부터 RF PACVD에 다이아몬드 박막 합성
기타저자  
임헌찬
기본자료저록  
논문집 - 大邱工業大學 : 1999년 1월 (제14집) 1999, 12
모체레코드  
모체정보확인
Control Number  
shingu:204909

MARC

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