자료유형  

 보고서

ISSN  

12297801

서명/저자  

RF-magnetron sputtering법에 의해 제조된 SnO2 박막 특성에 대한 열처리 분위기 효과 / 최광표 ; 박용주

발행사항  

서울 : 한국세라믹학회, 2004.

형태사항  

pp. 36-40

키워드  

RF-MAGNETRON SPUTTERING법 SNO2 박막특성 열처리

기타저자  

최광표

기타저자  

박용주

기본자료저록  

한국세라믹학회지 : 2004년 1월 (제41권 1호) 2004, 01

URL  

http://ceramics.or.kr

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Control Number  

shingu:203574