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ECR Plawma를 이용한 Si 기판의 산화연구
ECR Plawma를 이용한 Si 기판의 산화연구
Detailed Information
- 자료유형
- 보고서
- 서명/저자
- ECR Plawma를 이용한 Si 기판의 산화연구 / 박원일
- 발행사항
- 전주시 : 전주공업대학 산업기술연구원, 2000.
- 형태사항
- pp. 47-55
- 기타저자
- 박원일
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- shingu:202841
MARC
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■700 ▼a박원일
■773 ▼t논문집 - 전주공업대학 산업기술연구원▼g2000년 2월 (제32집)▼d2000, 02
■URL ▼ahttp://203.249.35.15
■SIS ▼aS021613▼b192506▼h3▼s2▼fD
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