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이방성 식각기술을 이용한 실리콘 에칭방법에 관한 연구
이방성 식각기술을 이용한 실리콘 에칭방법에 관한 연구
상세정보
- 자료유형
- 보고서
- 서명/저자
- 이방성 식각기술을 이용한 실리콘 에칭방법에 관한 연구 / 김동수 ; 정원채
- 발행사항
- 수원시 : 경기대학교 부설 산업기술종합연구소, 2001.
- 형태사항
- pp. 89-100
- 기타저자
- 김동수
- 기타저자
- 정원채
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- shingu:196351
MARC
008031024s2001 ULKa a KOR■245 ▼a이방성 식각기술을 이용한 실리콘 에칭방법에 관한 연구▼d김동수▼e정원채
■260 ▼a수원시▼b경기대학교 부설 산업기술종합연구소▼c2001.
■300 ▼app. 89-100
■653 ▼a이방성▼a식각기술▼a실리콘▼a에칭방법
■700 ▼a김동수
■700 ▼a정원채
■773 ▼t논문집 - 경기대학교 부설 산업기술종합연구소▼g2001년 6월 (제21집)▼d2001, 06
■URL ▼ahttp://library.kyonggi.ac.kr/
■SIS ▼aS020900▼b196154▼h3▼s2▼fD
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