자료유형  

 보고서

서명/저자  

마스크 폭에 따른 Ultrashallow PN 접합 형성에 관한 연구 / 김동수 ; 정원채

발행사항  

수원시 : 경기대학교 부설 산업기술종합연구소, 2000.

형태사항  

pp. 255-265

키워드  

마스크 ULTRASHALLOW PN 접합 형성

기타저자  

김동수

기타저자  

정원채

기본자료저록  

논문집 - 경기대학교 부설 산업기술종합연구소 : 2000년 9월 (제19집) 2000, 09

URL  

http://library.kyonggi.ac.kr/

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Control Number  

shingu:196312