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마스크 폭에 따른 Ultrashallow PN 접합 형성에 관한 연구
마스크 폭에 따른 Ultrashallow PN 접합 형성에 관한 연구
Detailed Information
- Material Type
- 보고서
- Title/Author
- 마스크 폭에 따른 Ultrashallow PN 접합 형성에 관한 연구 / 김동수 ; 정원채
- Publish Info
- 수원시 : 경기대학교 부설 산업기술종합연구소, 2000.
- Material Info
- pp. 255-265
- Index Term-Uncontrolled
- 마스크 ULTRASHALLOW PN 접합 형성
- Added Entry-Personal Name
- 김동수
- Added Entry-Personal Name
- 정원채
- Host Item Entry
- 논문집 - 경기대학교 부설 산업기술종합연구소 : 2000년 9월 (제19집) 2000, 09
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- shingu:196312
MARC
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■URL ▼ahttp://library.kyonggi.ac.kr/
■SIS ▼aS020889▼b196154▼h3▼s2▼fD
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