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마스크 폭에 따른 Ultrashallow PN 접합 형성에 관한 연구
마스크 폭에 따른 Ultrashallow PN 접합 형성에 관한 연구
상세정보
- 자료유형
- 보고서
- 서명/저자
- 마스크 폭에 따른 Ultrashallow PN 접합 형성에 관한 연구 / 김동수 ; 정원채
- 발행사항
- 수원시 : 경기대학교 부설 산업기술종합연구소, 2000.
- 형태사항
- pp. 255-265
- 키워드
- 마스크 ULTRASHALLOW PN 접합 형성
- 기타저자
- 김동수
- 기타저자
- 정원채
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- shingu:196312
MARC
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■653 ▼a마스크▼aULTRASHALLOW▼aPN▼a접합▼a형성
■700 ▼a김동수
■700 ▼a정원채
■773 ▼t논문집 - 경기대학교 부설 산업기술종합연구소▼g2000년 9월 (제19집)▼d2000, 09
■URL ▼ahttp://library.kyonggi.ac.kr/
■SIS ▼aS020889▼b196154▼h3▼s2▼fD
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