자료유형  

 보고서

ISSN  

12297801

서명/저자  

Helicon Wave Plasma에 의해 식각된 단결정 LiNbO3의 표면 형상 및 특성 / 박우정 ; 양우석

발행사항  

서울 : 한국세라믹학회, 2003.

형태사항  

pp. 886-890

키워드  

HELICON WAVE PLASMA 식각된 단결정 표면 형상

기타저자  

박우정

기타저자  

양우석

기본자료저록  

한국세라믹학회지 : 2003년 9월 (제40권 9호) 2003, 09

URL  

http://www.ceramics.or.kr

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Control Number  

shingu:195685