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CF4 가스 분해효율 향상을 위한 고밀도스트리머의 방전특성
CF4 가스 분해효율 향상을 위한 고밀도스트리머의 방전특성
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MARC
008030813s2002 ULKa a KOR■245 ▼aCF4 가스 분해효율 향상을 위한 고밀도스트리머의 방전특성▼d이용길▼e정장근
■260 ▼a부산광역시▼b동의공업대학▼c2002.
■300 ▼app. 129-133
■653 ▼aCF4▼a가스▼a분해▼a효율▼a향상▼a위한▼a고밀도▼a방전▼a특성
■700 ▼a이용길
■700 ▼a정장근
■773 ▼t논문집 - 동의공업대학▼g2002년 1월 (제28집)▼d2002, 12
■URL ▼ahttp://www.dit.ac.kr
■SIS ▼aS020408▼b193203▼h3▼s2▼fD


