자료유형  

 보고서

ISSN  

12297801

서명/저자  

Off-axis 고주파 마그네트론 스퍼터링법을 이용한 이종에피텍셜 ZnO 박막 성장 / 박재완 ; 박종완

발행사항  

서울 : 한국세라믹학회, 2003.

형태사항  

pp. 262-267

키워드  

OFFAXIS 고주파 스퍼터링 이종에피텍셜 박막 성장

기타저자  

박재완

기타저자  

박종완

기본자료저록  

한국세라믹학회지 : 2003년 3월 (제40권 3호) 2003, 03

URL  

http://www.ceramics.or.kr

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Control Number  

shingu:187725