자료유형  

 보고서

ISSN  

12297801

서명/저자  

CeO₂연마입자의 합성온도와 수계안정성이 CMP 특성에 미치는 영향 / 임건자 ; 김태은

발행사항  

서울 : 한국세라믹학회, 2003.

형태사항  

pp. 167

키워드  

CEO₂연마입자의 합성 수계 CMP 특성

기타저자  

임건자

기타저자  

김태은

기본자료저록  

한국세라믹학회지 : 2003년 2월 (제40권 2호) 2003, 02

URL  

http://www.ceramics.or.kr

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Control Number  

shingu:187011