자료유형  

 보고서

ISSN  

12297801

서명/저자  

CeO2 슬러리에서 Gycine의 흡착이 질화규소 박막의 연마특성에 미치는 영향 / 김태은 ; 임건자

발행사항  

서울 : 한국세라믹학회, 2003.

형태사항  

pp. 77

키워드  

슬러리 GYCINE 흡착 질화규소 박막 연마특성

기타저자  

김태은

기타저자  

임건자

기본자료저록  

한국세라믹학회지 : 2003년 1월 (제40권 1호) 2003, 01

URL  

http://www.ceramics.or.kr

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Control Number  

shingu:186083