자료유형  

 보고서

ISSN  

12297801

서명/저자  

Ne, Ar, Kr 가스를 사용하여 제작한 스퍼터 Gallium 도프 ZnO 박막의 전기적 특성 / 송풍근 ; 류봉기 ; 김광호

발행사항  

서울 : 한국세라믹학회, 2002.

형태사항  

pp. 935

키워드  

가스 사용 제작 스퍼터 GALLIUM 도프 ZNO 박막 전기적

기타저자  

송풍근

기타저자  

류봉기

기타저자  

김광호

기본자료저록  

한국세라믹학회지 : 2002년 10월 (제39권 10호) 2002, 10

URL  

http://www.kcers.or.kr

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Control Number  

shingu:180867