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 보고서

ISSN  

12297801

서명/저자  

마그네트론 스퍼터링에 의해 제작한 Gallium-doped ZnO 박막에 있어서 잔류 H₂O 분압의 영향 / 송풍근 ; 권용준 ; 차재민

발행사항  

서울 : 한국세라믹학회, 2002.

형태사항  

pp. 928

키워드  

마그네트론 스퍼터링 제작 GALLIUM DOPED ZNO 박막 잔류 분압

기타저자  

송풍근

기타저자  

권용준

기타저자  

차재민

기본자료저록  

한국세라믹학회지 : 2002년 10월 (제39권 10호) 2002, 10

URL  

http://www.kcers.or.kr

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Control Number  

shingu:180866