자료유형  

 보고서

ISSN  

12297801

서명/저자  

EUVL 응용을 위한 Mo/Si 박막 특성 전산모사 / 이영태 ; 정용재

발행사항  

서울 : 한국세라믹학회, 2002.

형태사항  

pp. 807

키워드  

EUVL 응용 위한 MOSI 박막 전산 모사

기타저자  

이영태

기타저자  

정용재

기본자료저록  

한국세라믹학회지 : 2002년 8월 (제39권 8호) 2002, 08

모체레코드  

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URL  

http://www.kcers.or.kr

Control Number  

shingu:178973