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R.F. Magnetron Sputtering으로 다양한 Interlayer 층위에 형성시킨 PZT 박막의 미세구조와 강유전 특성
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■260 ▼a서울▼b한국세라믹학회▼c2002.
■300 ▼app. 742
■653 ▼aR.F.MAGCNTRON▼aSPUTTERING▼aINTERLAYER▼a형성시킨▼aPZT▼a박막▼a미세구조▼a강유전
■700 ▼a박철호
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■773 ▼t한국세라믹학회지▼g2002년 8월 (제39권 8호)▼d2002, 08
■SIS ▼aS017532▼b64638▼h4▼s2▼fP
■URL ▼ahttp://www.kcers.or.kr
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