본문

서브메뉴

Details

논문 : HDP를 이용한 실리콘 단결정 Deep Dry Etching에 관한 특성
논문 : HDP를 이용한 실리콘 단결정 Deep Dry Etching에 관한 특성 / 박우정 ; 김장현 ; 김용탁 ...
논문 : HDP를 이용한 실리콘 단결정 Deep Dry Etching에 관한 특성

Detailed Information

자료유형  
 보고서
ISSN  
12297801
서명/저자  
논문 : HDP를 이용한 실리콘 단결정 Deep Dry Etching에 관한 특성 / 박우정 ; 김장현 ; 김용탁 ; 백형기 ; 서수정 ; 윤대호
발행사항  
서울 : 한국세라믹학회, 2002.
형태사항  
pp. 570
키워드  
HDP 실리콘 단결정 DEEP DRY ETCHING
기타저자  
박우정
기타저자  
김장현
기타저자  
김용탁
기타저자  
백형기
기타저자  
서수정
기타저자  
윤대호
기본자료저록  
한국세라믹학회지 : 2002년 6월 (제39권 6호) 2002, 06
모체레코드  
모체정보확인
Control Number  
shingu:176621

MARC

 008020722s2002        ULKa    a                          KOR
■022    ▼a12297801
■245    ▼a논문  :  HDP를  이용한  실리콘  단결정  Deep  Dry  Etching에  관한  특성▼d박우정▼e김장현▼e김용탁▼e백형기▼e서수정▼e윤대호
■260    ▼a서울▼b한국세라믹학회▼c2002.
■300    ▼app.  570
■653    ▼aHDP▼a실리콘▼a단결정▼aDEEP▼aDRY▼aETCHING
■700    ▼a박우정
■700    ▼a김장현
■700    ▼a김용탁
■700    ▼a백형기
■700    ▼a서수정
■700    ▼a윤대호
■773    ▼t한국세라믹학회지▼g2002년  6월  (제39권  6호)▼d2002,  06
■SIS    ▼aS017086▼b64638▼h4▼s2▼fP

Preview

Export

ChatGPT Discussion

AI Recommended Related Books


    New Books MORE
    Related books MORE
    Statistics for the past 3 years. Go to brief

    Подробнее информация.

    • Бронирование
    • не существует
    • Книга оказать запросу
    • моя папка
    • Первый запрос зрения
    материал
    Reg No. Количество платежных Местоположение статус Ленд информации

    * Бронирование доступны в заимствований книги. Чтобы сделать предварительный заказ, пожалуйста, нажмите кнопку бронирование

    Books borrowed together with this book

    Related books

    Related Popular Books

    도서위치