자료유형  

 보고서

ISSN  

12297801

서명/저자  

논문 : HDP를 이용한 실리콘 단결정 Deep Dry Etching에 관한 특성 / 박우정 ; 김장현 ; 김용탁 ; 백형기 ; 서수정 ; 윤대호

발행사항  

서울 : 한국세라믹학회, 2002.

형태사항  

pp. 570

키워드  

HDP 실리콘 단결정 DEEP DRY ETCHING

기타저자  

박우정

기타저자  

김장현

기타저자  

김용탁

기타저자  

백형기

기타저자  

서수정

기타저자  

윤대호

기본자료저록  

한국세라믹학회지 : 2002년 6월 (제39권 6호) 2002, 06

모체레코드  

모체정보확인

Control Number  

shingu:176621