자료유형  

 보고서

ISSN  

12297801

서명/저자  

논문 : PECVD법에 의해 증착된 SiO2 후막의 광학적 성질 및 구조적 분석 / 조성민 ; 김용탁 ; 서용곤 ; 윤형도 ; 임영민 ; 윤대호

발행사항  

서울 : 한국세라믹학회, 2002.

형태사항  

pp. 479

키워드  

PECVD 광학적 구조적

기타저자  

조성민

기타저자  

김용탁

기타저자  

서용곤

기타저자  

윤형도

기타저자  

임영민

기타저자  

윤대호

기본자료저록  

한국세라믹학회지 : 2002년 5월 (제39권 5호) 2002, 05

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Control Number  

shingu:175320