자료유형  

 보고서

ISSN  

12297801

서명/저자  

실리카 광도파로용 SiON 후막 특성에서RF Power와 SiH4/(N2O+N2) Ratio가 미치는 영향 / 김용탁 ; 조성민 ; 서용곤 ; 임영민 ; 윤대호

발행사항  

서울 : 한국세라믹학회, 2001.

형태사항  

pp. 1150

키워드  

실리카 광도파로용 SION 후막 특성 POWER SIH4N2ON2 RATIO

기타저자  

김용탁

기타저자  

조성민

기타저자  

서용곤

기타저자  

임영민

기타저자  

윤대호

기본자료저록  

한국세라믹학회지 : 2001년 12월 (제38권 12호) 2001, 12

모체레코드  

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URL  

http://www.society.kordic.re.kr

Control Number  

shingu:169670