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동일 증착 조건의 스퍼터링에 의해서 제작한 Indium Tin 산화물 박막의 증착위치에 따른 전기적 특성의 불균질성
동일 증착 조건의 스퍼터링에 의해서 제작한 Indium Tin 산화물 박막의 증착위치에 따른 전기적 특성의 불균질성
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■260 ▼a서울▼b한국세라믹학회▼c2001.
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■700 ▼a유동주
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■773 ▼t한국세라믹학회지▼g2001년 11월 (제38권 11호)▼d2001, 11
■SIS ▼aS013515▼b64638▼h1▼s2▼fP
■URL ▼ahttp://society.kordic.re.kr/~kcs
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