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저압 화학증착법에 의한 대면적 SiC 후막의 증착
저압 화학증착법에 의한 대면적 SiC 후막의 증착
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- 자료유형
- 보고서
- ISSN
- 12297801
- 서명/저자
- 저압 화학증착법에 의한 대면적 SiC 후막의 증착 / 김원주 ; 박지연, 김정일, 홍계원...
- 발행사항
- 서울 : 한국세라믹학회, 2001.
- 형태사항
- pp. 485
- 기타저자
- 김원주
- 기타저자
- 박지연, 김정일, 홍계원...
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- shingu:143586
MARC
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■260 ▼a서울▼b한국세라믹학회▼c2001.
■300 ▼app. 485
■653 ▼a저압▼a화학증착법▼a대면적▼a후막
■700 ▼a김원주
■700 ▼a박지연, 김정일, 홍계원...
■773 ▼t한국세라믹학회지▼g2001년 5월 (제38권 5호)▼d2001, 05
■SIS ▼aS011996▼b64638▼h1▼s2▼fP
■URL ▼ahttp://Kcers.icm.re.kr
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