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저압 화학증착법에 의한 SiC 증착층의 미세구조에 미치는 전체 반응압력의 영향
저압 화학증착법에 의한 SiC 증착층의 미세구조에 미치는 전체 반응압력의 영향 / 이민용 ; 박지...
저압 화학증착법에 의한 SiC 증착층의 미세구조에 미치는 전체 반응압력의 영향

Detailed Information

자료유형  
 보고서
ISSN  
12297801
서명/저자  
저압 화학증착법에 의한 SiC 증착층의 미세구조에 미치는 전체 반응압력의 영향 / 이민용 ; 박지연, 김원주...
발행사항  
서울 : 한국세라믹학회, 2001.
형태사항  
pp. 388
키워드  
저압 화학 SIC 미세 반응
기타저자  
이민용
기타저자  
박지연, 김원주...
기본자료저록  
한국세라믹학회지 : 2001년 4월 (제38권 4호) 2001, 04
URL  
http://www.hanrimwon.co.kr
모체레코드  
모체정보확인
Control Number  
shingu:143462

MARC

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