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저압 화학증착법에 의한 SiC 증착층의 미세구조에 미치는 전체 반응압력의 영향
저압 화학증착법에 의한 SiC 증착층의 미세구조에 미치는 전체 반응압력의 영향
상세정보
- 자료유형
- 보고서
- ISSN
- 12297801
- 서명/저자
- 저압 화학증착법에 의한 SiC 증착층의 미세구조에 미치는 전체 반응압력의 영향 / 이민용 ; 박지연, 김원주...
- 발행사항
- 서울 : 한국세라믹학회, 2001.
- 형태사항
- pp. 388
- 기타저자
- 이민용
- 기타저자
- 박지연, 김원주...
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- shingu:143462
MARC
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■773 ▼t한국세라믹학회지▼g2001년 4월 (제38권 4호)▼d2001, 04
■URL ▼ahttp://www.hanrimwon.co.kr
■SIS ▼aS011995▼b64638▼h1▼s2▼fP
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