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차세대 ULSI interconnection을 위한 CVD 저유전율 박막 개발
차세대 ULSI interconnection을 위한 CVD 저유전율 박막 개발 / 김윤해 ; 김형준
차세대 ULSI interconnection을 위한 CVD 저유전율 박막 개발

Detailed Information

자료유형  
 보고서
ISBN  
1226976X
서명/저자  
차세대 ULSI interconnection을 위한 CVD 저유전율 박막 개발 / 김윤해 ; 김형준
발행사항  
서울 : 한국세라믹협회/정밀요업협회, 2001
형태사항  
pp.5
키워드  
차세대 ULSI interconnection CVD 저유전율 박막 개발
기타저자  
김윤해
기타저자  
김형준
기본자료저록  
세라미스트 : 2월호(제4권1호) 2001, 04
모체레코드  
모체정보확인
Control Number  
shingu:127141

MARC

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■020    ▼a1226976X
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■700    ▼a김윤해
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■SIS    ▼aS010242▼b64654▼h4▼s2

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