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차세대 ULSI interconnection을 위한 CVD 저유전율 박막 개발
차세대 ULSI interconnection을 위한 CVD 저유전율 박막 개발
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- 자료유형
- 보고서
- ISBN
- 1226976X
- 서명/저자
- 차세대 ULSI interconnection을 위한 CVD 저유전율 박막 개발 / 김윤해 ; 김형준
- 발행사항
- 서울 : 한국세라믹협회/정밀요업협회, 2001
- 형태사항
- pp.5
- 기타저자
- 김윤해
- 기타저자
- 김형준
- 기본자료저록
- 세라미스트 : 2월호(제4권1호) 2001, 04
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- shingu:127141
MARC
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| AR127141 | 연속간행물실 | 마이폴더 |
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