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이온빔 스퍼터링에 의한 ATO 박막의 실온 증착 및 열처리에 따른 특성변화
이온빔 스퍼터링에 의한 ATO 박막의 실온 증착 및 열처리에 따른 특성변화 / 구창영 외3인
이온빔 스퍼터링에 의한 ATO 박막의 실온 증착 및 열처리에 따른 특성변화

Detailed Information

자료유형  
 보고서
ISBN  
12297801
서명/저자  
이온빔 스퍼터링에 의한 ATO 박막의 실온 증착 및 열처리에 따른 특성변화 / 구창영 외3인
발행사항  
서울 : 한국세라믹학회, 2000
형태사항  
pp.1025
키워드  
이온빔 스퍼터링 ATO 박막 실온 증착 열처리 특성변화
기타저자  
구창영 외3인
기본자료저록  
한국세라믹학회지 : 11월(제37권11호) 2000, 12
모체레코드  
모체정보확인
Control Number  
shingu:126553

MARC

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